光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
4期
805-811
,共7页
石然%姜劭栋%裘安萍%苏岩
石然%薑劭棟%裘安萍%囌巖
석연%강소동%구안평%소암
硅微谐振式加速度计%微杠杆%放大倍数
硅微諧振式加速度計%微槓桿%放大倍數
규미해진식가속도계%미강간%방대배수
从基于DDSOG(Deep Dry Silicon on Glass)工艺的硅微谐振式加速度计样机入手,阐述了加速度计中微杠杆结构对惯性力的放大作用,证明了标度因数与系统放大倍数n为正比关系,并以加速度计样机中的单级微杠杆为例,建立了加速度计的理论模型.推导了微杠杆的放大倍数A和轴向刚度K的计算公式,以此为基础导出了加速度计系统放大倍数n的计算方法.依据公式计算得到加速度计样机的系统放大倍数n的理论值为21.820,并用有限元方法对理论值进行了仿真验算,得出n的仿真值为19.最后对加速度样机进行了实际测试,测得加速度计的标度因数为127.33 Hz/g,系统放大倍数n为25.466.对所得结果的比较表明,系统放大倍数的理论值与仿真值及实验值的误差分别为14.8%和14.3%,误差在可接受范围内.
從基于DDSOG(Deep Dry Silicon on Glass)工藝的硅微諧振式加速度計樣機入手,闡述瞭加速度計中微槓桿結構對慣性力的放大作用,證明瞭標度因數與繫統放大倍數n為正比關繫,併以加速度計樣機中的單級微槓桿為例,建立瞭加速度計的理論模型.推導瞭微槓桿的放大倍數A和軸嚮剛度K的計算公式,以此為基礎導齣瞭加速度計繫統放大倍數n的計算方法.依據公式計算得到加速度計樣機的繫統放大倍數n的理論值為21.820,併用有限元方法對理論值進行瞭倣真驗算,得齣n的倣真值為19.最後對加速度樣機進行瞭實際測試,測得加速度計的標度因數為127.33 Hz/g,繫統放大倍數n為25.466.對所得結果的比較錶明,繫統放大倍數的理論值與倣真值及實驗值的誤差分彆為14.8%和14.3%,誤差在可接受範圍內.
종기우DDSOG(Deep Dry Silicon on Glass)공예적규미해진식가속도계양궤입수,천술료가속도계중미강간결구대관성력적방대작용,증명료표도인수여계통방대배수n위정비관계,병이가속도계양궤중적단급미강간위례,건립료가속도계적이론모형.추도료미강간적방대배수A화축향강도K적계산공식,이차위기출도출료가속도계계통방대배수n적계산방법.의거공식계산득도가속도계양궤적계통방대배수n적이론치위21.820,병용유한원방법대이론치진행료방진험산,득출n적방진치위19.최후대가속도양궤진행료실제측시,측득가속도계적표도인수위127.33 Hz/g,계통방대배수n위25.466.대소득결과적비교표명,계통방대배수적이론치여방진치급실험치적오차분별위14.8%화14.3%,오차재가접수범위내.
