材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2012年
5期
30-34,38
,共6页
颜培%邓建新%连云崧%赵军%陈振
顏培%鄧建新%連雲崧%趙軍%陳振
안배%산건신%련운숭%조군%진진
ZrTiN涂层%多弧离子镀%沉积时间%微观结构%性能
ZrTiN塗層%多弧離子鍍%沉積時間%微觀結構%性能
ZrTiN도층%다호리자도%침적시간%미관결구%성능
采用多弧离子镀膜法,在YT15及YG8硬质合金基体上沉积ZrTiN硬质涂层,并分析涂层微观形貌、物相组成、涂层的厚度、硬度及结合力等性能参数随沉积时间的变化.结果表明:沉积时间不会影响ZrTiN涂层的晶面指数,涂层中只有单一面心立方结构相形成,且晶面指数始终为(111)；涂层的晶粒尺寸约为10nm且随沉积时间变化不大.沉积时间为120min时,涂层的显微硬度和结合力明显下降.
採用多弧離子鍍膜法,在YT15及YG8硬質閤金基體上沉積ZrTiN硬質塗層,併分析塗層微觀形貌、物相組成、塗層的厚度、硬度及結閤力等性能參數隨沉積時間的變化.結果錶明:沉積時間不會影響ZrTiN塗層的晶麵指數,塗層中隻有單一麵心立方結構相形成,且晶麵指數始終為(111)；塗層的晶粒呎吋約為10nm且隨沉積時間變化不大.沉積時間為120min時,塗層的顯微硬度和結閤力明顯下降.
채용다호리자도막법,재YT15급YG8경질합금기체상침적ZrTiN경질도층,병분석도층미관형모、물상조성、도층적후도、경도급결합력등성능삼수수침적시간적변화.결과표명:침적시간불회영향ZrTiN도층적정면지수,도층중지유단일면심립방결구상형성,차정면지수시종위(111)；도층적정립척촌약위10nm차수침적시간변화불대.침적시간위120min시,도층적현미경도화결합력명현하강.
