材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2004年
5期
732-734
,共3页
陈刚%阎兴斌%刘惠文%徐洮
陳剛%閻興斌%劉惠文%徐洮
진강%염흥빈%류혜문%서조
电化学沉积%CNx薄膜%XPS
電化學沉積%CNx薄膜%XPS
전화학침적%CNx박막%XPS
在甲醇-尿素有机溶液中,采用电化学沉积方法,在单晶硅表面沉积得到掺氮的类金刚石薄膜.利用原子力显微镜、拉曼光谱、X射线光电子能谱、傅立叶分光红外光度计、X射线衍射仪研究了其表面形貌和微观结构.结果表明:电化学沉积得到的薄膜表面致密,但粗糙度较大;Raman光谱中出现明显的D峰和G峰,说明薄膜中存在无定形结构的碳基质;薄膜的化学元素组成主要为C,还有少量的N,C、N之间主要以单键和双键形式相连;薄膜中存在着一定数量的β-C3N4晶相.
在甲醇-尿素有機溶液中,採用電化學沉積方法,在單晶硅錶麵沉積得到摻氮的類金剛石薄膜.利用原子力顯微鏡、拉曼光譜、X射線光電子能譜、傅立葉分光紅外光度計、X射線衍射儀研究瞭其錶麵形貌和微觀結構.結果錶明:電化學沉積得到的薄膜錶麵緻密,但粗糙度較大;Raman光譜中齣現明顯的D峰和G峰,說明薄膜中存在無定形結構的碳基質;薄膜的化學元素組成主要為C,還有少量的N,C、N之間主要以單鍵和雙鍵形式相連;薄膜中存在著一定數量的β-C3N4晶相.
재갑순-뇨소유궤용액중,채용전화학침적방법,재단정규표면침적득도참담적류금강석박막.이용원자력현미경、랍만광보、X사선광전자능보、부립협분광홍외광도계、X사선연사의연구료기표면형모화미관결구.결과표명:전화학침적득도적박막표면치밀,단조조도교대;Raman광보중출현명현적D봉화G봉,설명박막중존재무정형결구적탄기질;박막적화학원소조성주요위C,환유소량적N,C、N지간주요이단건화쌍건형식상련;박막중존재착일정수량적β-C3N4정상.
