CAJ | 학술논문

目的:评价大气热氧化、阳极氧化和氮化钛镀膜对铸造纯钛表面膜组成和厚度的影响.方法:制作纯钛试件12个,随机分为对照组、大气热氧化组、阳极氧化组和氮化钛镀膜组进行表面改性.然后进行膜表面和剖面的俄歇电子能谱(AES)分析.结果:对照组、大气热氧化组和阳极氧化组的最表层,O原子含量大于Ti(原子比约为2:1).达到氧化物/金属界面时对照组氧化膜厚度约为9nm(溅射时间约为18sec),热氧化组约为20nm(溅射时间约为40sec),阳极氧化组约为174nm(溅射时间约为5min48 sec).氮化钛镀膜组最表面O原子的含量很低,约占10%,而N+Ti占58%,Ti占20%,氮化钛膜厚度约为300nm(溅射时间约为10min).结论:在本实验条件下,未处理组,热氧化组和阳极氧化组表面膜的主要成分为TiO2,表面膜厚度由高到低依次为阳极氧化组＞热氧化组＞对照组.氮化钛镀膜组表面膜最厚,主要成分为氮化钛.
목적:평개대기열양화、양겁양화화담화태도막대주조순태표면막조성화후도적영향.방법:제작순태시건12개,수궤분위대조조、대기열양화조、양겁양화조화담화태도막조진행표면개성.연후진행막표면화부면적아헐전자능보(AES)분석.결과:대조조、대기열양화조화양겁양화조적최표층,O원자함량대우Ti(원자비약위2:1).체도양화물/금속계면시대조조양화막후도약위9nm(천사시간약위18sec),열양화조약위20nm(천사시간약위40sec),양겁양화조약위174nm(천사시간약위5min48 sec).담화태도막조최표면O원자적함량흔저,약점10%,이N+Ti점58%,Ti점20%,담화태막후도약위300nm(천사시간약위10min).결론:재본실험조건하,미처리조,열양화조화양겁양화조표면막적주요성분위TiO2,표면막후도유고도저의차위양겁양화조＞열양화조＞대조조.담화태도막조표면막최후,주요성분위담화태.