半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2005年
z1期
204-207
,共4页
贺月娇%方青%辛红丽%陈鹏%李芳%刘育梁
賀月嬌%方青%辛紅麗%陳鵬%李芳%劉育樑
하월교%방청%신홍려%진붕%리방%류육량
可变光学衰减器%热光%隔热槽%功率消耗
可變光學衰減器%熱光%隔熱槽%功率消耗
가변광학쇠감기%열광%격열조%공솔소모
制作了带有U形隔热槽的马赫-曾德干涉型SOI热光可变光学衰减器,在1510～1610nm波长范围内动态调节范围可达到0～29dB.与未加隔热槽的相同结构光学衰减器相比,器件插入损耗和调制深度不受影响,最大功率消耗降低了230mW.
製作瞭帶有U形隔熱槽的馬赫-曾德榦涉型SOI熱光可變光學衰減器,在1510～1610nm波長範圍內動態調節範圍可達到0～29dB.與未加隔熱槽的相同結構光學衰減器相比,器件插入損耗和調製深度不受影響,最大功率消耗降低瞭230mW.
제작료대유U형격열조적마혁-증덕간섭형SOI열광가변광학쇠감기,재1510～1610nm파장범위내동태조절범위가체도0～29dB.여미가격열조적상동결구광학쇠감기상비,기건삽입손모화조제심도불수영향,최대공솔소모강저료230mW.
