功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2006年
5期
443-446
,共4页
秦凯丰%桑文斌%钱永彪%闵嘉华%滕建勇
秦凱豐%桑文斌%錢永彪%閔嘉華%滕建勇
진개봉%상문빈%전영표%민가화%등건용
CdZnTe%接触界面%超声波扫描(SAM)
CdZnTe%接觸界麵%超聲波掃描(SAM)
CdZnTe%접촉계면%초성파소묘(SAM)
采用超声波扫描(SAM)、俄歇电子能谱分析技术(AES)、电极粘附力测试和I-V特性测试等方法研究了化学沉积、溅射和真空蒸发三种不同沉积工艺条件下Au/p-CdZnTe接触界面的各种特性.通过实验结果可以看出,化学法沉积的Au电极能形成较好的欧姆接触特性,但其操作工艺不容易控制,电极接触层均匀性较差,在器件使用过程中,容易引起电极的退化;溅射沉积的Au电极有着较好的附着力,但对CdZnTe表面的损伤较大,欧姆接触特性较差;真空蒸发法沉积的Au电极,有着较好的欧姆接触特性,且其电极接触层也较为均匀,只是电极附着力相对较小,但可以通过合适的退火工艺进行改善.
採用超聲波掃描(SAM)、俄歇電子能譜分析技術(AES)、電極粘附力測試和I-V特性測試等方法研究瞭化學沉積、濺射和真空蒸髮三種不同沉積工藝條件下Au/p-CdZnTe接觸界麵的各種特性.通過實驗結果可以看齣,化學法沉積的Au電極能形成較好的歐姆接觸特性,但其操作工藝不容易控製,電極接觸層均勻性較差,在器件使用過程中,容易引起電極的退化;濺射沉積的Au電極有著較好的附著力,但對CdZnTe錶麵的損傷較大,歐姆接觸特性較差;真空蒸髮法沉積的Au電極,有著較好的歐姆接觸特性,且其電極接觸層也較為均勻,隻是電極附著力相對較小,但可以通過閤適的退火工藝進行改善.
채용초성파소묘(SAM)、아헐전자능보분석기술(AES)、전겁점부력측시화I-V특성측시등방법연구료화학침적、천사화진공증발삼충불동침적공예조건하Au/p-CdZnTe접촉계면적각충특성.통과실험결과가이간출,화학법침적적Au전겁능형성교호적구모접촉특성,단기조작공예불용역공제,전겁접촉층균균성교차,재기건사용과정중,용역인기전겁적퇴화;천사침적적Au전겁유착교호적부착력,단대CdZnTe표면적손상교대,구모접촉특성교차;진공증발법침적적Au전겁,유착교호적구모접촉특성,차기전겁접촉층야교위균균,지시전겁부착력상대교소,단가이통과합괄적퇴화공예진행개선.
