大功率激光制备a-C和a-C: H类金刚石膜的光学性能研究
대공솔격광제비a-C화a-C: H류금강석막적광학성능연구
Optical Properties of a-C and a-C: H Diamond-like Films Prepared by High Power Excimer Laser Ablation
  • 万方数据
    高等学校化学学报 고등학교화학학보
    CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSITIES
    2006年 6期 1012-1015 ,共4页

    陈宝玲%赵立新%张冰%陈玉强%杨昕卉%彭鸿雁%金曾孙

    진보령%조립신%장빙%진옥강%양흔훼%팽홍안%금증손

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    采用大功率高重复频率准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石碳膜, 研究了实验条件对类金刚石膜光学性能的影响, 发现氢可以提高膜中sp3键的含量和膜的光学透过率. 在实验参数范围内, 膜的光学性能随着氢压的增加而提高. 根据类金刚石膜的反应沉积机理对上述结果进行了分析、解释.
    채용대공솔고중복빈솔준분자격광천사열해석묵파제비료류금강석탄막, 연구료실험조건대류금강석막광학성능적영향, 발현경가이제고막중sp3건적함량화막적광학투과솔. 재실험삼수범위내, 막적광학성능수착경압적증가이제고. 근거류금강석막적반응침적궤리대상술결과진행료분석、해석.
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