电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2008年
2期
385-388
,共4页
李金儒%陈宝钦%刘明%赵珉
李金儒%陳寶欽%劉明%趙珉
리금유%진보흠%류명%조민
CIF Format%PG3600 Format%pattern division%data format conversion%division along the Sides
为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式转换软件,文章提出了微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的新的图形切割算法--沿边切割法,重点讨论任意多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行比较,说明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性,最后给出所编软件运行的实验结果.
為瞭編製能夠運行于Windows操作繫統且又能夠掛靠在L-EDIT數據格式轉換軟件,文章提齣瞭微光刻圖形CIF數據格式轉換為PG3600數據格式的新的圖形切割算法--沿邊切割法,重點討論任意多邊形切割成矩形的具體算法,併與其它幾種常見的切割算法進行比較,說明該算法對于不規則圖形的切割具有明顯的優越性,最後給齣所編軟件運行的實驗結果.
위료편제능구운행우Windows조작계통차우능구괘고재L-EDIT수거격식전환연건,문장제출료미광각도형CIF수거격식전환위PG3600수거격식적신적도형절할산법--연변절할법,중점토론임의다변형절할성구형적구체산법,병여기타궤충상견적절할산법진행비교,설명해산법대우불규칙도형적절할구유명현적우월성,최후급출소편연건운행적실험결과.
This paper presents a novel algorithm for dividing the microlithography patterns of CIF format into rectangles of PG3600 format with emphasis on the division of arbitrary polygon into rectangles.The comparison result of this algorithm with other pattern division algorithms shows its great superiority for ir-regular polygons division over the other algorithms or techniques.
