中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2008年
5期
768-771
,共4页
韩泽华%周常河%戴恩文%谢金
韓澤華%週常河%戴恩文%謝金
한택화%주상하%대은문%사금
激光技术%飞秒激光微加工%金属薄膜%偏振双脉冲%微突起
激光技術%飛秒激光微加工%金屬薄膜%偏振雙脈遲%微突起
격광기술%비초격광미가공%금속박막%편진쌍맥충%미돌기
利用具有纳焦能量、高重复频率的偏振光飞秒双脉冲对金属铬膜样品进行微加工,样品表面都会产生微突起状结构,它们的宽度在0～400 ps的双脉冲时延范围内没有明显的变化,但高度却都在1～10 ps的双脉冲时延范围内呈现明显的下降,在此时延范围之外并没有明显的变化.通过加工样品的扫描电子显微镜(SEM)图片发现,对于偏振光,利用双脉冲方法,可以获得更好的加工质量.并且线偏振光得到的微突起状结构比较细长,在入射光束的偏振方向上有所伸长;圆偏振光得到的微突起状结构比较接近圆形.即在低脉冲能量、高重复频率情况下,具体的微加工特征形貌与入射光束的偏振状态有关.
利用具有納焦能量、高重複頻率的偏振光飛秒雙脈遲對金屬鉻膜樣品進行微加工,樣品錶麵都會產生微突起狀結構,它們的寬度在0～400 ps的雙脈遲時延範圍內沒有明顯的變化,但高度卻都在1～10 ps的雙脈遲時延範圍內呈現明顯的下降,在此時延範圍之外併沒有明顯的變化.通過加工樣品的掃描電子顯微鏡(SEM)圖片髮現,對于偏振光,利用雙脈遲方法,可以穫得更好的加工質量.併且線偏振光得到的微突起狀結構比較細長,在入射光束的偏振方嚮上有所伸長;圓偏振光得到的微突起狀結構比較接近圓形.即在低脈遲能量、高重複頻率情況下,具體的微加工特徵形貌與入射光束的偏振狀態有關.
이용구유납초능량、고중복빈솔적편진광비초쌍맥충대금속락막양품진행미가공,양품표면도회산생미돌기상결구,타문적관도재0～400 ps적쌍맥충시연범위내몰유명현적변화,단고도각도재1～10 ps적쌍맥충시연범위내정현명현적하강,재차시연범위지외병몰유명현적변화.통과가공양품적소묘전자현미경(SEM)도편발현,대우편진광,이용쌍맥충방법,가이획득경호적가공질량.병차선편진광득도적미돌기상결구비교세장,재입사광속적편진방향상유소신장;원편진광득도적미돌기상결구비교접근원형.즉재저맥충능량、고중복빈솔정황하,구체적미가공특정형모여입사광속적편진상태유관.
