核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2008年
9期
689-691
,共3页
张宏斌%卢子伟%徐瑚珊%肖国青%李占奎
張宏斌%盧子偉%徐瑚珊%肖國青%李佔奎
장굉빈%로자위%서호산%초국청%리점규
碳剥离膜%SEM/TEM%交流%直流电弧法
碳剝離膜%SEM/TEM%交流%直流電弧法
탄박리막%SEM/TEM%교류%직류전호법
碳剥离膜可用交流电弧法或直流电弧法来制备,也可用交直流电弧来做多层膜.不同制备方法的碳剥离膜有不同的寿命,表明不同制备方法的碳膜有着不同的微观结构.本文对不同制备方法的碳剥离膜的微观结构做了SEM/TEM照片测试,分析了碳剥离膜结构对碳剥离膜寿命的影响.
碳剝離膜可用交流電弧法或直流電弧法來製備,也可用交直流電弧來做多層膜.不同製備方法的碳剝離膜有不同的壽命,錶明不同製備方法的碳膜有著不同的微觀結構.本文對不同製備方法的碳剝離膜的微觀結構做瞭SEM/TEM照片測試,分析瞭碳剝離膜結構對碳剝離膜壽命的影響.
탄박리막가용교류전호법혹직류전호법래제비,야가용교직류전호래주다층막.불동제비방법적탄박리막유불동적수명,표명불동제비방법적탄막유착불동적미관결구.본문대불동제비방법적탄박리막적미관결구주료SEM/TEM조편측시,분석료탄박리막결구대탄박리막수명적영향.
