CAJ | 학술논문

研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律,从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响,并对低温环境下微构件的动态特性测试技术进行了研究.研制了低温环境下MEMS动态特性测试系统,采用半导体冷阱实现低温环境,利用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,通过底座的冲击激励,使微悬臂梁处于自由衰减振动状态,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,从而获得微悬臂梁的谐振频率.利用研制的测试系统,在-50 ℃～室温的环境下对单晶硅微悬臂的谐振频率进行了测试,结果表明,随着温度的降低,微悬臂梁的谐振频率略有增大,其谐振频率的温度变化率约为-0.263 Hz/K,与理论分析的结果基本一致.该测试装置能够有效地完成在-50 ℃～室温环境下微构件的动态特性测试.
연구료미궤전계통(MEMS)미구건적해진빈솔등동태특성재저온배경하적변화규률,종이론상분석료개변배경온도대미현비량해진빈솔적영향,병대저온배경하미구건적동태특성측시기술진행료연구.연제료저온배경하MEMS동태특성측시계통,채용반도체랭정실현저온배경,이용압전도자작위저좌격려장치적구동원,통과저좌적충격격려,사미현비량처우자유쇠감진동상태,사용격광다보륵측진의대미현비량적진동향응진행검측,종이획득미현비량적해진빈솔.이용연제적측시계통,재-50 ℃～실온적배경하대단정규미현비적해진빈솔진행료측시,결과표명,수착온도적강저,미현비량적해진빈솔략유증대,기해진빈솔적온도변화솔약위-0.263 Hz/K,여이론분석적결과기본일치.해측시장치능구유효지완성재-50 ℃～실온배경하미구건적동태특성측시.