计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2010年
4期
299-302
,共4页
钱进%石春英%谭慧萍%刘忠有%陈方毓%陈晓霞%黄晓蓉
錢進%石春英%譚慧萍%劉忠有%陳方毓%陳曉霞%黃曉蓉
전진%석춘영%담혜평%류충유%진방육%진효하%황효용
计量学%扫描电子显微镜%纳米光栅%线距标准装置%一维光栅%长度基准
計量學%掃描電子顯微鏡%納米光柵%線距標準裝置%一維光柵%長度基準
계량학%소묘전자현미경%납미광책%선거표준장치%일유광책%장도기준
提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法,对3种类型的10台电镜进行了比对实验.实验数据溯源于国家长度基准.比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测量对象.实验结果表明, 有8台扫描电镜的标尺的准确度在5%的范围内与标准值符合, 其余2台在6.5%的范围内与标准值符合.
提齣瞭掃描電子顯微鏡量值溯源的測量方法,對3種類型的10檯電鏡進行瞭比對實驗.實驗數據溯源于國傢長度基準.比對實驗選取顯微鏡的放大倍數分彆為2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所對應的標呎作為測量對象.實驗結果錶明, 有8檯掃描電鏡的標呎的準確度在5%的範圍內與標準值符閤, 其餘2檯在6.5%的範圍內與標準值符閤.
제출료소묘전자현미경량치소원적측량방법,대3충류형적10태전경진행료비대실험.실험수거소원우국가장도기준.비대실험선취현미경적방대배수분별위2000×、5000×、10000×、20000×화50000×소대응적표척작위측량대상.실험결과표명, 유8태소묘전경적표척적준학도재5%적범위내여표준치부합, 기여2태재6.5%적범위내여표준치부합.
