真空
真空
진공
VACUUM
2011年
2期
60-62
,共3页
芮岳峰%刘景全%杨春生%何庆%李以贵
芮嶽峰%劉景全%楊春生%何慶%李以貴
예악봉%류경전%양춘생%하경%리이귀
植入式%parylene%MEMS%互连%PDMS
植入式%parylene%MEMS%互連%PDMS
식입식%parylene%MEMS%호련%PDMS
本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法,应用MEMS(微电子机械系统)技术将芯片和电极进行了芯片级的互连,系统集成度高,尺寸小.相比传统的单层互连方法,在相同面积上互连电极数多.并且使用PDMS作为基底材料,大大降低了传统的以硅为基底的加工成本.制备的芯片电极多层互连系统芯片和电极互连数量多,各层绝缘层为绝缘性能良好的柔性Parylene(聚对亚苯基二甲基)薄膜,为柔性多层高密度线路互连技术提供了一种新方法.
本文提齣瞭一種基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片電極多層互連方法,應用MEMS(微電子機械繫統)技術將芯片和電極進行瞭芯片級的互連,繫統集成度高,呎吋小.相比傳統的單層互連方法,在相同麵積上互連電極數多.併且使用PDMS作為基底材料,大大降低瞭傳統的以硅為基底的加工成本.製備的芯片電極多層互連繫統芯片和電極互連數量多,各層絕緣層為絕緣性能良好的柔性Parylene(聚對亞苯基二甲基)薄膜,為柔性多層高密度線路互連技術提供瞭一種新方法.
본문제출료일충기우PDMS(취이갑기규양완)기저적심편전겁다층호련방법,응용MEMS(미전자궤계계통)기술장심편화전겁진행료심편급적호련,계통집성도고,척촌소.상비전통적단층호련방법,재상동면적상호련전겁수다.병차사용PDMS작위기저재료,대대강저료전통적이규위기저적가공성본.제비적심편전겁다층호련계통심편화전겁호련수량다,각층절연층위절연성능량호적유성Parylene(취대아분기이갑기)박막,위유성다층고밀도선로호련기술제공료일충신방법.
