失效分析与预防
失效分析與預防
실효분석여예방
FAILURE ANALYSIS AND PREVENTION
2012年
2期
99-103
,共5页
田红彦%齐欣平%龚勇清%周张钰%苏兆国
田紅彥%齊訢平%龔勇清%週張鈺%囌兆國
전홍언%제흔평%공용청%주장옥%소조국
亚微米%位相型%衍射光栅%失效分析
亞微米%位相型%衍射光柵%失效分析
아미미%위상형%연사광책%실효분석
提出了一种亚微米深度的纯位相型玻璃衍射光栅制作工艺,采用光刻制栅方法对要制作的光栅结构进行了分析；用AUTOCAD绘图软件绘制光栅的排列布局以及MATLAB软件对设计出的图案进行衍射图样模拟,在基于数字微镜的光刻机上进行曝光,由涂覆光刻胶的铬玻璃上得到缩微图案；观察了单色激光的夫琅禾费光栅衍射图样,以确定最终的设计图案；用电子束刻蚀方法得到的铬掩膜板进行常规光刻工艺处理,得到纯位相型的衍射光栅,最后通过对衍射光栅的衍射图案的失效性分析确定最佳的光刻工艺.结果表明:利用光刻制栅方法不仅可以在玻璃上制得纯位相型光栅,同样也可以在硅片、金属等其他基底上制得光栅或其他光学重复单元,方法可行,且材料成本不高.
提齣瞭一種亞微米深度的純位相型玻璃衍射光柵製作工藝,採用光刻製柵方法對要製作的光柵結構進行瞭分析；用AUTOCAD繪圖軟件繪製光柵的排列佈跼以及MATLAB軟件對設計齣的圖案進行衍射圖樣模擬,在基于數字微鏡的光刻機上進行曝光,由塗覆光刻膠的鉻玻璃上得到縮微圖案；觀察瞭單色激光的伕瑯禾費光柵衍射圖樣,以確定最終的設計圖案；用電子束刻蝕方法得到的鉻掩膜闆進行常規光刻工藝處理,得到純位相型的衍射光柵,最後通過對衍射光柵的衍射圖案的失效性分析確定最佳的光刻工藝.結果錶明:利用光刻製柵方法不僅可以在玻璃上製得純位相型光柵,同樣也可以在硅片、金屬等其他基底上製得光柵或其他光學重複單元,方法可行,且材料成本不高.
제출료일충아미미심도적순위상형파리연사광책제작공예,채용광각제책방법대요제작적광책결구진행료분석；용AUTOCAD회도연건회제광책적배렬포국이급MATLAB연건대설계출적도안진행연사도양모의,재기우수자미경적광각궤상진행폭광,유도복광각효적락파리상득도축미도안；관찰료단색격광적부랑화비광책연사도양,이학정최종적설계도안；용전자속각식방법득도적락엄막판진행상규광각공예처리,득도순위상형적연사광책,최후통과대연사광책적연사도안적실효성분석학정최가적광각공예.결과표명:이용광각제책방법불부가이재파리상제득순위상형광책,동양야가이재규편、금속등기타기저상제득광책혹기타광학중복단원,방법가행,차재료성본불고.
