功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2003年
3期
319-322
,共4页
宁瑾%刘忠立%刘焕章%葛永才
寧瑾%劉忠立%劉煥章%葛永纔
저근%류충립%류환장%갈영재
氧化多孔硅%牺牲层%悬空微结构%阳极氧化
氧化多孔硅%犧牲層%懸空微結構%暘極氧化
양화다공규%희생층%현공미결구%양겁양화
提出一种新的牺牲层工艺.先将阳极氧化生成的多孔硅在 300℃的氮气氛下进行退火以稳定其多孔结构,然后将其在 700℃下氧化成为具有多孔结构的二氧化硅.用氧化的多孔硅材料作为牺牲层材料,既可以保留多孔硅牺牲层材料释放迅速的优点,又克服了多孔硅在释放时的局限性.实验运用氧化的多孔硅材料作牺牲层成功制备了悬空振膜和悬臂梁结构.
提齣一種新的犧牲層工藝.先將暘極氧化生成的多孔硅在 300℃的氮氣氛下進行退火以穩定其多孔結構,然後將其在 700℃下氧化成為具有多孔結構的二氧化硅.用氧化的多孔硅材料作為犧牲層材料,既可以保留多孔硅犧牲層材料釋放迅速的優點,又剋服瞭多孔硅在釋放時的跼限性.實驗運用氧化的多孔硅材料作犧牲層成功製備瞭懸空振膜和懸臂樑結構.
제출일충신적희생층공예.선장양겁양화생성적다공규재 300℃적담기분하진행퇴화이은정기다공결구,연후장기재 700℃하양화성위구유다공결구적이양화규.용양화적다공규재료작위희생층재료,기가이보류다공규희생층재료석방신속적우점,우극복료다공규재석방시적국한성.실험운용양화적다공규재료작희생층성공제비료현공진막화현비량결구.
