摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2005年
3期
258-264
,共7页
姚舜晖%苏演良%高文显%刘醇鸿
姚舜暉%囌縯良%高文顯%劉醇鴻
요순휘%소연량%고문현%류순홍
氮化钛/氮化铝纳米多层膜%周期%耐磨性%车削%微钻削
氮化鈦/氮化鋁納米多層膜%週期%耐磨性%車削%微鑽削
담화태/담화려납미다층막%주기%내마성%차삭%미찬삭
采用新型高速反应真空磁控溅射系统制备了氮化钛/氮化铝纳米多层膜,探讨了周期(λ)对多层膜力学性能及抗磨性能的影响;在微钻针及车刀表面分别制备了上述多层膜,并分别对电路板以及中碳钢棒进行实机加工测试,以验证其实用性.结果表明:通过控制溅射参数可以制备出周期范围为2.4～67.6nm的氮化钛/氮化铝多层膜;当周期λ≤3.6nm时,相应的多层膜具有较高的硬度、良好的粘附性能及优异的抗磨性能.实机测试结果显示,所制备的多层膜可以改善金属车削和微钻削加工条件,改善程度优于单层氮化钛镀膜.
採用新型高速反應真空磁控濺射繫統製備瞭氮化鈦/氮化鋁納米多層膜,探討瞭週期(λ)對多層膜力學性能及抗磨性能的影響;在微鑽針及車刀錶麵分彆製備瞭上述多層膜,併分彆對電路闆以及中碳鋼棒進行實機加工測試,以驗證其實用性.結果錶明:通過控製濺射參數可以製備齣週期範圍為2.4～67.6nm的氮化鈦/氮化鋁多層膜;噹週期λ≤3.6nm時,相應的多層膜具有較高的硬度、良好的粘附性能及優異的抗磨性能.實機測試結果顯示,所製備的多層膜可以改善金屬車削和微鑽削加工條件,改善程度優于單層氮化鈦鍍膜.
채용신형고속반응진공자공천사계통제비료담화태/담화려납미다층막,탐토료주기(λ)대다층막역학성능급항마성능적영향;재미찬침급차도표면분별제비료상술다층막,병분별대전로판이급중탄강봉진행실궤가공측시,이험증기실용성.결과표명:통과공제천사삼수가이제비출주기범위위2.4～67.6nm적담화태/담화려다층막;당주기λ≤3.6nm시,상응적다층막구유교고적경도、량호적점부성능급우이적항마성능.실궤측시결과현시,소제비적다층막가이개선금속차삭화미찬삭가공조건,개선정도우우단층담화태도막.
