清华大学学报(自然科学版)
清華大學學報(自然科學版)
청화대학학보(자연과학판)
Journal of Tsinghua University
2005年
5期
647-650
,共4页
郭百巍%刘兵%汪家道%陈大融
郭百巍%劉兵%汪傢道%陳大融
곽백외%류병%왕가도%진대융
微操作%粘着接触%液体桥力%微机电系统
微操作%粘著接觸%液體橋力%微機電繫統
미조작%점착접촉%액체교력%미궤전계통
为了克服粘着对微机电系统装配的影响,提出了一种利用液体桥力实现微球转移操作的方法.利用操作臂和微球之间的液体桥力实现微球的抓取,利用目标平面和微球之间的液体桥力实现微球的释放.对微球受力的理论分析表明,重力可以被忽略.由于干燥微球和粗糙平面之间的粘着力很小,抓取操作容易实现;释放操作要求操作臂末端的半径小,操作液体的界面能尽量低.使用该方法实现了一种微滚动导轨的装配,从而验证了该方法的可行性.
為瞭剋服粘著對微機電繫統裝配的影響,提齣瞭一種利用液體橋力實現微毬轉移操作的方法.利用操作臂和微毬之間的液體橋力實現微毬的抓取,利用目標平麵和微毬之間的液體橋力實現微毬的釋放.對微毬受力的理論分析錶明,重力可以被忽略.由于榦燥微毬和粗糙平麵之間的粘著力很小,抓取操作容易實現;釋放操作要求操作臂末耑的半徑小,操作液體的界麵能儘量低.使用該方法實現瞭一種微滾動導軌的裝配,從而驗證瞭該方法的可行性.
위료극복점착대미궤전계통장배적영향,제출료일충이용액체교력실현미구전이조작적방법.이용조작비화미구지간적액체교력실현미구적조취,이용목표평면화미구지간적액체교력실현미구적석방.대미구수력적이론분석표명,중력가이피홀략.유우간조미구화조조평면지간적점착력흔소,조취조작용역실현;석방조작요구조작비말단적반경소,조작액체적계면능진량저.사용해방법실현료일충미곤동도궤적장배,종이험증료해방법적가행성.
