中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
z1期
434-436
,共3页
吕树海%罗蓉%杨拥军%吕苗
呂樹海%囉蓉%楊擁軍%呂苗
려수해%라용%양옹군%려묘
硅硅直接键合(SDB)%电感耦合等离子(ICP)%MEMS%键合
硅硅直接鍵閤(SDB)%電感耦閤等離子(ICP)%MEMS%鍵閤
규규직접건합(SDB)%전감우합등리자(ICP)%MEMS%건합
介绍了硅硅直接键合(SDB)技术的反应机理、实现方法和技术优势,重点阐述了SDB技术在MEMS加速度计中的应用;通过初步测试,表明利用SDB技术制作的加速度计具有很好的稳定性.
介紹瞭硅硅直接鍵閤(SDB)技術的反應機理、實現方法和技術優勢,重點闡述瞭SDB技術在MEMS加速度計中的應用;通過初步測試,錶明利用SDB技術製作的加速度計具有很好的穩定性.
개소료규규직접건합(SDB)기술적반응궤리、실현방법화기술우세,중점천술료SDB기술재MEMS가속도계중적응용;통과초보측시,표명이용SDB기술제작적가속도계구유흔호적은정성.
