江南大学学报（自然科学版）
江南大學學報（自然科學版）
강남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTHERN YANGTZE UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2006年
2期
249-252
,共4页
石湘波%施正荣%朱拓%汪义川
石湘波%施正榮%硃拓%汪義川
석상파%시정영%주탁%왕의천
铝吸杂%太阳电池%多晶硅太阳电池%少子寿命%传统热处理过程%快速热处理过程
鋁吸雜%太暘電池%多晶硅太暘電池%少子壽命%傳統熱處理過程%快速熱處理過程
려흡잡%태양전지%다정규태양전지%소자수명%전통열처리과정%쾌속열처리과정
针对铝吸杂对多晶硅的影响,比较了单、双面蒸镀2 μm铝的多晶硅片在CTP和RTP炉中进行铝吸杂后的少子寿命、电性能和量子效率.发现在RTP炉中进行铝吸杂时,双面蒸镀铝少子寿命的增加比单面蒸镀时明显,在830 ℃时吸杂效果最优;而在CTP炉中吸杂时,单面蒸镀铝少子寿命的增加更明显,在600,700 ℃时吸杂效果最优.
針對鋁吸雜對多晶硅的影響,比較瞭單、雙麵蒸鍍2 μm鋁的多晶硅片在CTP和RTP爐中進行鋁吸雜後的少子壽命、電性能和量子效率.髮現在RTP爐中進行鋁吸雜時,雙麵蒸鍍鋁少子壽命的增加比單麵蒸鍍時明顯,在830 ℃時吸雜效果最優;而在CTP爐中吸雜時,單麵蒸鍍鋁少子壽命的增加更明顯,在600,700 ℃時吸雜效果最優.
침대려흡잡대다정규적영향,비교료단、쌍면증도2 μm려적다정규편재CTP화RTP로중진행려흡잡후적소자수명、전성능화양자효솔.발현재RTP로중진행려흡잡시,쌍면증도려소자수명적증가비단면증도시명현,재830 ℃시흡잡효과최우;이재CTP로중흡잡시,단면증도려소자수명적증가경명현,재600,700 ℃시흡잡효과최우.
