真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
4期
278-281
,共4页
冯庆%王新强%刘高斌%王万录
馮慶%王新彊%劉高斌%王萬錄
풍경%왕신강%류고빈%왕만록
气敏传感器%电子束蒸发%TiO2%WO3%n型金属氧化物
氣敏傳感器%電子束蒸髮%TiO2%WO3%n型金屬氧化物
기민전감기%전자속증발%TiO2%WO3%n형금속양화물
二氧化钛和三氧化钨是具有重要功能的无机n型半导体材料,常用来制备气敏传感器.本文利用电子束蒸发制备了TiO2-WO3复合氧化物薄膜,在500℃下退火2h.通过SEM和XRD观察了该薄膜的形貌特性并进行了气敏测试.实验表明,该薄膜对酒精、丙酮和二氧化硫气体具有较强的敏感性.本文还研究了温度、复合浓度和气体浓度对薄膜气体传感能力的影响.
二氧化鈦和三氧化鎢是具有重要功能的無機n型半導體材料,常用來製備氣敏傳感器.本文利用電子束蒸髮製備瞭TiO2-WO3複閤氧化物薄膜,在500℃下退火2h.通過SEM和XRD觀察瞭該薄膜的形貌特性併進行瞭氣敏測試.實驗錶明,該薄膜對酒精、丙酮和二氧化硫氣體具有較彊的敏感性.本文還研究瞭溫度、複閤濃度和氣體濃度對薄膜氣體傳感能力的影響.
이양화태화삼양화오시구유중요공능적무궤n형반도체재료,상용래제비기민전감기.본문이용전자속증발제비료TiO2-WO3복합양화물박막,재500℃하퇴화2h.통과SEM화XRD관찰료해박막적형모특성병진행료기민측시.실험표명,해박막대주정、병동화이양화류기체구유교강적민감성.본문환연구료온도、복합농도화기체농도대박막기체전감능력적영향.
