微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2008年
2期
298-301
,共4页
任芳%崔伟%何敏%刘嵘侃
任芳%崔偉%何敏%劉嶸侃
임방%최위%하민%류영간
半导体工艺%制版%精缩机%阵列插图
半導體工藝%製版%精縮機%陣列插圖
반도체공예%제판%정축궤%진렬삽도
介绍了利用3696精缩机进行制版阵列插图的研究工作,总结了插图工艺制作的基本方法、常见问题及解决办法.通过具体应用实例,对多种形式的阵列插图制作进行了有益的探讨,对光掩模版的制造具有一定的指导意义.
介紹瞭利用3696精縮機進行製版陣列插圖的研究工作,總結瞭插圖工藝製作的基本方法、常見問題及解決辦法.通過具體應用實例,對多種形式的陣列插圖製作進行瞭有益的探討,對光掩模版的製造具有一定的指導意義.
개소료이용3696정축궤진행제판진렬삽도적연구공작,총결료삽도공예제작적기본방법、상견문제급해결판법.통과구체응용실례,대다충형식적진렬삽도제작진행료유익적탐토,대광엄모판적제조구유일정적지도의의.
