应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2009年
2期
304-308
,共5页
龚勇清%刘智怀%高益庆%罗宁宁%李平贵
龔勇清%劉智懷%高益慶%囉寧寧%李平貴
공용청%류지부%고익경%라저저%리평귀
光刻技术%数字掩膜%二元光学元件%蚀刻
光刻技術%數字掩膜%二元光學元件%蝕刻
광각기술%수자엄막%이원광학원건%식각
提出一种二元光学元件微型芯模的工艺设计方法,该方法利用了数字调制器件(DMD芯片)的空间光调制特性.首先通过编程设计出二元光学器件的相关软件,以实现菲涅耳透镜、达曼光栅、龙基光栅等各种矢量图形,经过14倍精缩光学系统,将由DMD芯片生成的二元光学器件图像成像在涂有光刻胶的基板上.经显影、定影和坚膜后,再利用电化学蚀刻,得到一种二元光学阵列的微芯模.这种二元光学的芯模制作方法可以方便、高效、低成本地用于制作微光学器件.
提齣一種二元光學元件微型芯模的工藝設計方法,該方法利用瞭數字調製器件(DMD芯片)的空間光調製特性.首先通過編程設計齣二元光學器件的相關軟件,以實現菲涅耳透鏡、達曼光柵、龍基光柵等各種矢量圖形,經過14倍精縮光學繫統,將由DMD芯片生成的二元光學器件圖像成像在塗有光刻膠的基闆上.經顯影、定影和堅膜後,再利用電化學蝕刻,得到一種二元光學陣列的微芯模.這種二元光學的芯模製作方法可以方便、高效、低成本地用于製作微光學器件.
제출일충이원광학원건미형심모적공예설계방법,해방법이용료수자조제기건(DMD심편)적공간광조제특성.수선통과편정설계출이원광학기건적상관연건,이실현비열이투경、체만광책、룡기광책등각충시량도형,경과14배정축광학계통,장유DMD심편생성적이원광학기건도상성상재도유광각효적기판상.경현영、정영화견막후,재이용전화학식각,득도일충이원광학진렬적미심모.저충이원광학적심모제작방법가이방편、고효、저성본지용우제작미광학기건.
