分析测试技术与仪器
分析測試技術與儀器
분석측시기술여의기
ANALYSIS AND TESTING TECHNOLOGY AND INSTRUMENTS
2010年
2期
78-82
,共5页
江政%杨成韬%霍伟荣%赵鹏
江政%楊成韜%霍偉榮%趙鵬
강정%양성도%곽위영%조붕
磁控溅射%PZT铁电薄膜%底电极%退火
磁控濺射%PZT鐵電薄膜%底電極%退火
자공천사%PZT철전박막%저전겁%퇴화
利用磁控溅射方法在Si(001)基片上制备Ti/Pt底电极,其厚度大概分别为20、100nm,其中Ti电极作为缓冲层,随后在上面溅射PZT铁电薄膜.研究了不同电极的制备工艺对电极形貌、取向以及对PZT铁电薄膜的制备带来的影响.结果表明,底电极的溅射温度以及退火温度对于底电极起着至关重要的作用,同时具有良好(111)取向的、致密性较好的底电极对于PZT铁电薄膜的生长具有重要的影响.
利用磁控濺射方法在Si(001)基片上製備Ti/Pt底電極,其厚度大概分彆為20、100nm,其中Ti電極作為緩遲層,隨後在上麵濺射PZT鐵電薄膜.研究瞭不同電極的製備工藝對電極形貌、取嚮以及對PZT鐵電薄膜的製備帶來的影響.結果錶明,底電極的濺射溫度以及退火溫度對于底電極起著至關重要的作用,同時具有良好(111)取嚮的、緻密性較好的底電極對于PZT鐵電薄膜的生長具有重要的影響.
이용자공천사방법재Si(001)기편상제비Ti/Pt저전겁,기후도대개분별위20、100nm,기중Ti전겁작위완충층,수후재상면천사PZT철전박막.연구료불동전겁적제비공예대전겁형모、취향이급대PZT철전박막적제비대래적영향.결과표명,저전겁적천사온도이급퇴화온도대우저전겁기착지관중요적작용,동시구유량호(111)취향적、치밀성교호적저전겁대우PZT철전박막적생장구유중요적영향.
