河南教育学院学报（自然科学版）
河南教育學院學報（自然科學版）
하남교육학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF HENAN EDUCATION INSTITUTE (NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
4期
14-16
,共3页
吴旌贺%李永%史小波%赵先林
吳旌賀%李永%史小波%趙先林
오정하%리영%사소파%조선림
纳米铝粉%表征方法%Al2O3薄膜%厚度测量
納米鋁粉%錶徵方法%Al2O3薄膜%厚度測量
납미려분%표정방법%Al2O3박막%후도측량
对于氧化层厚度的精确测量,尤其是小于10 nm的超薄氧化层的测量有一定难度.介绍了一种根据XPS图谱中氧化态和金属态的相对强度计算超薄氧化铝厚度的方法,并结合高分辨透射电镜、X射线衍射仪等多种表征手段进行验证.结果表明该方法具有简单、准确等优点.
對于氧化層厚度的精確測量,尤其是小于10 nm的超薄氧化層的測量有一定難度.介紹瞭一種根據XPS圖譜中氧化態和金屬態的相對彊度計算超薄氧化鋁厚度的方法,併結閤高分辨透射電鏡、X射線衍射儀等多種錶徵手段進行驗證.結果錶明該方法具有簡單、準確等優點.
대우양화층후도적정학측량,우기시소우10 nm적초박양화층적측량유일정난도.개소료일충근거XPS도보중양화태화금속태적상대강도계산초박양화려후도적방법,병결합고분변투사전경、X사선연사의등다충표정수단진행험증.결과표명해방법구유간단、준학등우점.
