CAJ | 학술논문

静电键合是MEMS器件加工的重要技术之一,在MEMS生产制造过程中,由于其本身的结构特点以及组成材料的要求,常常需要进行多层材料(功能元件)间的连接,目前通常采用2个电极通过一次电极反接的方式实现多层样片之间的静电键合,但是第2次键合过程中在第1次键合面形成的反向电压会减弱键合的强度,本文针对这种情况研刺了1套双阴极共阳极的多层静电键合专用设备,并用该设备进行了静电键合试验,结果表明,键合质量明显改善,键合界面牛顿环清晰可见,未出现破坏区和斑点区,由此可见,该设备是多层静电键合的最佳选择.
정전건합시MEMS기건가공적중요기술지일,재MEMS생산제조과정중,유우기본신적결구특점이급조성재료적요구,상상수요진행다층재료(공능원건)간적련접,목전통상채용2개전겁통과일차전겁반접적방식실현다층양편지간적정전건합,단시제2차건합과정중재제1차건합면형성적반향전압회감약건합적강도,본문침대저충정황연자료1투쌍음겁공양겁적다층정전건합전용설비,병용해설비진행료정전건합시험,결과표명,건합질량명현개선,건합계면우돈배청석가견,미출현파배구화반점구,유차가견,해설비시다층정전건합적최가선택.