烟台大学学报（自然科学与工程版）
煙檯大學學報（自然科學與工程版）
연태대학학보（자연과학여공정판）
JOURNAL OF YANTAI UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE AND ENGINEERING EDITION）
2011年
2期
136-140
,共5页
宁方敏%邬旭然%田宇紘%徐惠忠
寧方敏%鄔旭然%田宇紘%徐惠忠
저방민%오욱연%전우굉%서혜충
元素分析仪%X荧光分析仪%光伏硅%硅漂移探测器%数字脉冲处理器
元素分析儀%X熒光分析儀%光伏硅%硅漂移探測器%數字脈遲處理器
원소분석의%X형광분석의%광복규%규표이탐측기%수자맥충처리기
光伏硅杂质元素分析仪是基于能量色散谱仪的工作原理,研制开发的由硅漂移探测器和数字脉冲处理器以及双靶激发系统组成的X荧光类分析仪.仪器的性能测试中:能量线性偏差为0.23%,相对极差为0.06%,相对标准偏差为0.59%,同时探测器的能量分辨率为130 eV,均可证明满足光伏硅中Cr、V、Mn、Co、Ni、Fe等杂质元素的定量分析要求.同时,用该系统对某公司生产的光伏硅材料进行测试,结果与ICP-AES测试结果相吻合.
光伏硅雜質元素分析儀是基于能量色散譜儀的工作原理,研製開髮的由硅漂移探測器和數字脈遲處理器以及雙靶激髮繫統組成的X熒光類分析儀.儀器的性能測試中:能量線性偏差為0.23%,相對極差為0.06%,相對標準偏差為0.59%,同時探測器的能量分辨率為130 eV,均可證明滿足光伏硅中Cr、V、Mn、Co、Ni、Fe等雜質元素的定量分析要求.同時,用該繫統對某公司生產的光伏硅材料進行測試,結果與ICP-AES測試結果相吻閤.
광복규잡질원소분석의시기우능량색산보의적공작원리,연제개발적유규표이탐측기화수자맥충처리기이급쌍파격발계통조성적X형광류분석의.의기적성능측시중:능량선성편차위0.23%,상대겁차위0.06%,상대표준편차위0.59%,동시탐측기적능량분변솔위130 eV,균가증명만족광복규중Cr、V、Mn、Co、Ni、Fe등잡질원소적정량분석요구.동시,용해계통대모공사생산적광복규재료진행측시,결과여ICP-AES측시결과상문합.
