计量与测试技术
計量與測試技術
계량여측시기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
2011年
5期
28-29,31
,共3页
VCM%低频%主动隔振%位移响应函数
VCM%低頻%主動隔振%位移響應函數
VCM%저빈%주동격진%위이향응함수
随着微/纳米加工、测量对环境稳定性要求的进一步提升,实用的精密、低频隔振技术显得日益重要.本文从基于VCM的低频主动隔振系统的动力学模型和隔振对象的位移频响函数出发,借助Matlab软件分析、仿真了隔振对象的质量、音圈电机与隔振对象的质量比以及音圈电机的阻尼比对主动隔振系统的影响.并介绍了该低频隔振系统的驱动硬件和控制软件的设计.
隨著微/納米加工、測量對環境穩定性要求的進一步提升,實用的精密、低頻隔振技術顯得日益重要.本文從基于VCM的低頻主動隔振繫統的動力學模型和隔振對象的位移頻響函數齣髮,藉助Matlab軟件分析、倣真瞭隔振對象的質量、音圈電機與隔振對象的質量比以及音圈電機的阻尼比對主動隔振繫統的影響.併介紹瞭該低頻隔振繫統的驅動硬件和控製軟件的設計.
수착미/납미가공、측량대배경은정성요구적진일보제승,실용적정밀、저빈격진기술현득일익중요.본문종기우VCM적저빈주동격진계통적동역학모형화격진대상적위이빈향함수출발,차조Matlab연건분석、방진료격진대상적질량、음권전궤여격진대상적질량비이급음권전궤적조니비대주동격진계통적영향.병개소료해저빈격진계통적구동경건화공제연건적설계.
