光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
8期
1859-1866
,共8页
包艳%杨德兴%李秉实%王东辉%郑普超
包豔%楊德興%李秉實%王東輝%鄭普超
포염%양덕흥%리병실%왕동휘%정보초
柔性变栅距光栅%柱面变栅距光栅%角位移传感器%弹性凸模
柔性變柵距光柵%柱麵變柵距光柵%角位移傳感器%彈性凸模
유성변책거광책%주면변책거광책%각위이전감기%탄성철모
研制了用于采集和反馈飞机舵面位置信息的柔性变栅距光栅角位移传感器.分析了影响传感器精度的主要因素,给出了制备过程所采用的精密成型工艺.首先,根据柱面变栅距光栅在柔性变栅距光栅角位移传感器中的核心作用,介绍了传感器的工作原理;分析了工艺误差对传感器精度的影响,提出了柔性变栅距光栅精密成型为柱面变栅距光栅后内表面圆度应不大于0.01 mm.在圆度对传感器精度影响的量值基础上,采用了柱面变栅距光栅精密成型工艺.最后,利用有限元仿真分析了柱面变栅距光栅精密成型工艺的可行性.实验结果表明:柱面变栅距光栅内表面圆度达到0.004 3mm,传感器的线性度达到最大工作角度的0.27％,满足了航空机载传感器的精度要求.
研製瞭用于採集和反饋飛機舵麵位置信息的柔性變柵距光柵角位移傳感器.分析瞭影響傳感器精度的主要因素,給齣瞭製備過程所採用的精密成型工藝.首先,根據柱麵變柵距光柵在柔性變柵距光柵角位移傳感器中的覈心作用,介紹瞭傳感器的工作原理;分析瞭工藝誤差對傳感器精度的影響,提齣瞭柔性變柵距光柵精密成型為柱麵變柵距光柵後內錶麵圓度應不大于0.01 mm.在圓度對傳感器精度影響的量值基礎上,採用瞭柱麵變柵距光柵精密成型工藝.最後,利用有限元倣真分析瞭柱麵變柵距光柵精密成型工藝的可行性.實驗結果錶明:柱麵變柵距光柵內錶麵圓度達到0.004 3mm,傳感器的線性度達到最大工作角度的0.27％,滿足瞭航空機載傳感器的精度要求.
연제료용우채집화반궤비궤타면위치신식적유성변책거광책각위이전감기.분석료영향전감기정도적주요인소,급출료제비과정소채용적정밀성형공예.수선,근거주면변책거광책재유성변책거광책각위이전감기중적핵심작용,개소료전감기적공작원리;분석료공예오차대전감기정도적영향,제출료유성변책거광책정밀성형위주면변책거광책후내표면원도응불대우0.01 mm.재원도대전감기정도영향적량치기출상,채용료주면변책거광책정밀성형공예.최후,이용유한원방진분석료주면변책거광책정밀성형공예적가행성.실험결과표명:주면변책거광책내표면원도체도0.004 3mm,전감기적선성도체도최대공작각도적0.27％,만족료항공궤재전감기적정도요구.
