仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2011年
10期
21-23
,共3页
杨丹琼%徐静%钟少龙%李四华%吴亚明
楊丹瓊%徐靜%鐘少龍%李四華%吳亞明
양단경%서정%종소룡%리사화%오아명
低噪声加速度计%体硅工艺%梳齿电容%滑膜阻尼
低譟聲加速度計%體硅工藝%梳齒電容%滑膜阻尼
저조성가속도계%체규공예%소치전용%활막조니
文中介绍了一种基于低噪声梳齿变面积型加速度计.采用体硅加工工艺,利用SOI材料30 μm顶层硅制造垂直梳齿,梳齿数目达200对,提高了初始电容,能够充分利用尺寸空间,获得具有低噪特性的加速度计.该种形式的加速度计不需要真空封装,也不需要制作阻尼孔就能满足低噪声要求.器件采用三层材料,利用硅-玻璃键合和BCB键合实现,能够有效提高成品率,并给出了成功流片后得到的SEM照片.最后,对器件进行了频谱响应曲线的测试,测试得到器件在非真空封装及无阻尼孔情况下Q值高达156.95.测试结果表明该器件的设计简化了制造工艺,降低了成本,同时得到提高了Q值,能够降低热机械噪声.
文中介紹瞭一種基于低譟聲梳齒變麵積型加速度計.採用體硅加工工藝,利用SOI材料30 μm頂層硅製造垂直梳齒,梳齒數目達200對,提高瞭初始電容,能夠充分利用呎吋空間,穫得具有低譟特性的加速度計.該種形式的加速度計不需要真空封裝,也不需要製作阻尼孔就能滿足低譟聲要求.器件採用三層材料,利用硅-玻璃鍵閤和BCB鍵閤實現,能夠有效提高成品率,併給齣瞭成功流片後得到的SEM照片.最後,對器件進行瞭頻譜響應麯線的測試,測試得到器件在非真空封裝及無阻尼孔情況下Q值高達156.95.測試結果錶明該器件的設計簡化瞭製造工藝,降低瞭成本,同時得到提高瞭Q值,能夠降低熱機械譟聲.
문중개소료일충기우저조성소치변면적형가속도계.채용체규가공공예,이용SOI재료30 μm정층규제조수직소치,소치수목체200대,제고료초시전용,능구충분이용척촌공간,획득구유저조특성적가속도계.해충형식적가속도계불수요진공봉장,야불수요제작조니공취능만족저조성요구.기건채용삼층재료,이용규-파리건합화BCB건합실현,능구유효제고성품솔,병급출료성공류편후득도적SEM조편.최후,대기건진행료빈보향응곡선적측시,측시득도기건재비진공봉장급무조니공정황하Q치고체156.95.측시결과표명해기건적설계간화료제조공예,강저료성본,동시득도제고료Q치,능구강저열궤계조성.
