磁性材料及器件
磁性材料及器件
자성재료급기건
JOURNAL OF MAGNETIC MATERIALS AND DEVICES
2012年
1期
41-44,55
,共5页
MEMS技术%平面磁通门传感器%弱磁场检测%软磁材料
MEMS技術%平麵磁通門傳感器%弱磁場檢測%軟磁材料
MEMS기술%평면자통문전감기%약자장검측%연자재료
首先论述了微型平面磁通门传感器的原理和结构,在此基础上,详细介绍了基于微机电机械加工技术( MEMS)的集成磁通门传感器探头的制作过程(包括溅射、电镀、光刻、反应离子刻蚀(RIE)等).分别采用高磁导率、低矫顽力的Co基非晶合金带材以及坡莫合金作为磁心制成磁通门探头.测试结果表明,在40kHz激励频率下,带材磁心探头的工作范围为±75μT,而坡莫合金磁心探头为±60μT,灵敏度分别为31.07V/T和23.76V/T.结果基本可以满足地磁场±60μT的测量要求.
首先論述瞭微型平麵磁通門傳感器的原理和結構,在此基礎上,詳細介紹瞭基于微機電機械加工技術( MEMS)的集成磁通門傳感器探頭的製作過程(包括濺射、電鍍、光刻、反應離子刻蝕(RIE)等).分彆採用高磁導率、低矯頑力的Co基非晶閤金帶材以及坡莫閤金作為磁心製成磁通門探頭.測試結果錶明,在40kHz激勵頻率下,帶材磁心探頭的工作範圍為±75μT,而坡莫閤金磁心探頭為±60μT,靈敏度分彆為31.07V/T和23.76V/T.結果基本可以滿足地磁場±60μT的測量要求.
수선논술료미형평면자통문전감기적원리화결구,재차기출상,상세개소료기우미궤전궤계가공기술( MEMS)적집성자통문전감기탐두적제작과정(포괄천사、전도、광각、반응리자각식(RIE)등).분별채용고자도솔、저교완력적Co기비정합금대재이급파막합금작위자심제성자통문탐두.측시결과표명,재40kHz격려빈솔하,대재자심탐두적공작범위위±75μT,이파막합금자심탐두위±60μT,령민도분별위31.07V/T화23.76V/T.결과기본가이만족지자장±60μT적측량요구.
