材料与冶金学报
材料與冶金學報
재료여야금학보
JOURNAL OF MATERIALS AND METALLURGY
2012年
2期
102-104,110
,共4页
磁控溅射%Mg薄膜%沉积压力
磁控濺射%Mg薄膜%沉積壓力
자공천사%Mg박막%침적압력
采用直流磁控溅射方法在氧化锆固体电解质表面制备了Mg金属薄膜,利用XRD和SEM研究了沉积压力(0.9～2.1Pa)对薄膜形貌和结构的影响.结果表明:随着沉积压力的提高,薄膜结晶程度逐渐变差,晶粒尺寸减小,表面粗糙度增大；薄膜呈(002)择优生长的柱状晶结构,且随着沉积压力的提高薄膜厚度先增加后减小.
採用直流磁控濺射方法在氧化鋯固體電解質錶麵製備瞭Mg金屬薄膜,利用XRD和SEM研究瞭沉積壓力(0.9～2.1Pa)對薄膜形貌和結構的影響.結果錶明:隨著沉積壓力的提高,薄膜結晶程度逐漸變差,晶粒呎吋減小,錶麵粗糙度增大；薄膜呈(002)擇優生長的柱狀晶結構,且隨著沉積壓力的提高薄膜厚度先增加後減小.
채용직류자공천사방법재양화고고체전해질표면제비료Mg금속박막,이용XRD화SEM연구료침적압력(0.9～2.1Pa)대박막형모화결구적영향.결과표명:수착침적압력적제고,박막결정정도축점변차,정립척촌감소,표면조조도증대；박막정(002)택우생장적주상정결구,차수착침적압력적제고박막후도선증가후감소.
