化工设备与管道
化工設備與管道
화공설비여관도
PROCESS EQUIPMENT DESIGN
2012年
5期
24-28
,共5页
多晶硅%化学气相沉积%计算流体力学%有限元应力分析
多晶硅%化學氣相沉積%計算流體力學%有限元應力分析
다정규%화학기상침적%계산류체역학%유한원응력분석
基于多晶硅的化学气相沉积技术与工艺,运用计算流体力学(CFD)的气体运动的组分运输和表面反应动力学模型,采用Ansys-Fluent对多晶硅的生长过程进行模拟计算,运用有限元应力分析(FEA)方法,对复杂设备结构进行热应力计算和强度安全性校核,研发并设计一系列大型高产能、低能耗的多晶硅反应器.该系列的反应器广泛应用于国内外多晶硅生产线,产能达500 t/a,能耗低至45 kW/kg.
基于多晶硅的化學氣相沉積技術與工藝,運用計算流體力學(CFD)的氣體運動的組分運輸和錶麵反應動力學模型,採用Ansys-Fluent對多晶硅的生長過程進行模擬計算,運用有限元應力分析(FEA)方法,對複雜設備結構進行熱應力計算和彊度安全性校覈,研髮併設計一繫列大型高產能、低能耗的多晶硅反應器.該繫列的反應器廣汎應用于國內外多晶硅生產線,產能達500 t/a,能耗低至45 kW/kg.
기우다정규적화학기상침적기술여공예,운용계산류체역학(CFD)적기체운동적조분운수화표면반응동역학모형,채용Ansys-Fluent대다정규적생장과정진행모의계산,운용유한원응력분석(FEA)방법,대복잡설비결구진행열응력계산화강도안전성교핵,연발병설계일계렬대형고산능、저능모적다정규반응기.해계렬적반응기엄범응용우국내외다정규생산선,산능체500 t/a,능모저지45 kW/kg.
