液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2004年
5期
343-348
,共6页
李兴辉%冯进军%白国栋%丁明清%张甫权%廖复疆
李興輝%馮進軍%白國棟%丁明清%張甫權%廖複疆
리흥휘%풍진군%백국동%정명청%장보권%료복강
场致发射阵列阴极%限流电阻%发射均匀性%老炼%发射稳定性
場緻髮射陣列陰極%限流電阻%髮射均勻性%老煉%髮射穩定性
장치발사진렬음겁%한류전조%발사균균성%노련%발사은정성
在利用微细加工技术和双向薄膜沉积工艺制得的钼尖锥场致发射阵列阴极进行实用化的过程中,目前存在的两个主要障碍是,阴极发射电流密度低和工作不稳定.通过对阴极发射失效机理和失效阴极的SEM照片进行研究认为,导致电流密度较低的原因是由于尖锥阵列的不均匀性造成只有部分尖锥发射电子;引起发射不稳定的主要因素是由于尖锥表面的微凸起和毛刺以及它吸附的各种影响有效功函数的污染物.采用电阻限流技术提高了阵列发射的均匀性,同时通过阴极老炼技术增强了场发射的稳定性,使其电流发射密度有很大程度的提高,而且电流波动也大为减小.研究结果对于该阴极在射频功率和平板显示等器件上的应用有着重要的意义.
在利用微細加工技術和雙嚮薄膜沉積工藝製得的鉬尖錐場緻髮射陣列陰極進行實用化的過程中,目前存在的兩箇主要障礙是,陰極髮射電流密度低和工作不穩定.通過對陰極髮射失效機理和失效陰極的SEM照片進行研究認為,導緻電流密度較低的原因是由于尖錐陣列的不均勻性造成隻有部分尖錐髮射電子;引起髮射不穩定的主要因素是由于尖錐錶麵的微凸起和毛刺以及它吸附的各種影響有效功函數的汙染物.採用電阻限流技術提高瞭陣列髮射的均勻性,同時通過陰極老煉技術增彊瞭場髮射的穩定性,使其電流髮射密度有很大程度的提高,而且電流波動也大為減小.研究結果對于該陰極在射頻功率和平闆顯示等器件上的應用有著重要的意義.
재이용미세가공기술화쌍향박막침적공예제득적목첨추장치발사진렬음겁진행실용화적과정중,목전존재적량개주요장애시,음겁발사전류밀도저화공작불은정.통과대음겁발사실효궤리화실효음겁적SEM조편진행연구인위,도치전류밀도교저적원인시유우첨추진렬적불균균성조성지유부분첨추발사전자;인기발사불은정적주요인소시유우첨추표면적미철기화모자이급타흡부적각충영향유효공함수적오염물.채용전조한류기술제고료진렬발사적균균성,동시통과음겁노련기술증강료장발사적은정성,사기전류발사밀도유흔대정도적제고,이차전류파동야대위감소.연구결과대우해음겁재사빈공솔화평판현시등기건상적응용유착중요적의의.
