高电荷态离子与Si(110)晶面碰撞的沟道效应研究
고전하태리자여Si(110)정면팽당적구도효응연구
Study of channeling effect by impact of highly charged ions on crystal surface of Si(lle)
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2008年 4期 2161-2164 ,共4页

    彭海波%王铁山%韩运成%丁大杰%徐鹤%程锐%赵永涛%王瑜玉

    팽해파%왕철산%한운성%정대걸%서학%정예%조영도%왕유옥

    高电荷态离子%溅射%沟道效应 高電荷態離子%濺射%溝道效應
    고전하태리자%천사%구도효응
    不同电荷态低速离子(Arq+,Pbq+)轰击Si(110)晶面,测量不同入射角情况下的次级粒子的产额.通过比较溅射产额与入射角的关系,证实沟道效应的存在.高电荷态离子与Si相互作用产生的沟道效应说明溅射产额主要是由动能碰撞引起的.在小角入射条件下,高电荷态离子能够增大溅射产额.当高电荷态离子以40°-50°入射时,存在势能越高溅射产额越大的势能效应.
    불동전하태저속리자(Arq+,Pbq+)굉격Si(110)정면,측량불동입사각정황하적차급입자적산액.통과비교천사산액여입사각적관계,증실구도효응적존재.고전하태리자여Si상호작용산생적구도효응설명천사산액주요시유동능팽당인기적.재소각입사조건하,고전하태리자능구증대천사산액.당고전하태리자이40°-50°입사시,존재세능월고천사산액월대적세능효응.
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