机械工程材料
機械工程材料
궤계공정재료
MATERIALS FOR MECHANICAL ENGINEERING
2008年
4期
40-42,53
,共4页
罗小秋%黄志荣%孙启凤%黄青
囉小鞦%黃誌榮%孫啟鳳%黃青
라소추%황지영%손계봉%황청
常压化学气相沉积法%SiO2涂层%HP40钢%沉积速率
常壓化學氣相沉積法%SiO2塗層%HP40鋼%沉積速率
상압화학기상침적법%SiO2도층%HP40강%침적속솔
以正硅酸乙酯为源物质,空气为载气,采用常压化学气相沉积法在HP40(25Cr35Ni)合金钢基体上制备了SiO2涂层;研究了沉积温度、源物质温度以及气体流量等工艺参数对沉积速率的影响,并通过XRD和SEM分析了涂层的物相组成及表面形貌.结果表明:用此方法可在HP40钢表面沉积出表面均匀致密且与基体具有一定结合强度的涂层,较合理的工艺参数为源物质温度60℃、沉积温度800℃、气体流量3.33 L·min-1.
以正硅痠乙酯為源物質,空氣為載氣,採用常壓化學氣相沉積法在HP40(25Cr35Ni)閤金鋼基體上製備瞭SiO2塗層;研究瞭沉積溫度、源物質溫度以及氣體流量等工藝參數對沉積速率的影響,併通過XRD和SEM分析瞭塗層的物相組成及錶麵形貌.結果錶明:用此方法可在HP40鋼錶麵沉積齣錶麵均勻緻密且與基體具有一定結閤彊度的塗層,較閤理的工藝參數為源物質溫度60℃、沉積溫度800℃、氣體流量3.33 L·min-1.
이정규산을지위원물질,공기위재기,채용상압화학기상침적법재HP40(25Cr35Ni)합금강기체상제비료SiO2도층;연구료침적온도、원물질온도이급기체류량등공예삼수대침적속솔적영향,병통과XRD화SEM분석료도층적물상조성급표면형모.결과표명:용차방법가재HP40강표면침적출표면균균치밀차여기체구유일정결합강도적도층,교합리적공예삼수위원물질온도60℃、침적온도800℃、기체류량3.33 L·min-1.
