光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2008年
9期
1206-1209
,共4页
段苓伟%薛俊明%杨瑞霞%赵颖%耿新华
段苓偉%薛俊明%楊瑞霞%趙穎%耿新華
단령위%설준명%양서하%조영%경신화
中频溅射%ZnO:Al(ZAO)薄膜%氧流量%绒面结构%湿法腐蚀
中頻濺射%ZnO:Al(ZAO)薄膜%氧流量%絨麵結構%濕法腐蝕
중빈천사%ZnO:Al(ZAO)박막%양류량%융면결구%습법부식
利用中频脉冲磁控溅射工艺制备了低阻高透过率的ZAO薄膜,用湿法腐蚀的方法将制备的平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间得到绒面ZAO薄膜.研究了氧流量对腐蚀后薄膜表面形貌的影响.结果表明,随着氧流量的增大腐蚀后薄膜的表面形貌由花瓣状逐渐为适合太阳电池的陨石坑状,在氧流量为3.6 sc-cm时(氩流量为12 sccm)得到最好的绒面ZAO薄膜,继续增加氧流量,薄膜开始变得粗糙,说明薄膜的表面形貌又变差.
利用中頻脈遲磁控濺射工藝製備瞭低阻高透過率的ZAO薄膜,用濕法腐蝕的方法將製備的平麵ZAO薄膜在0.5%的稀鹽痠中浸泡一定時間得到絨麵ZAO薄膜.研究瞭氧流量對腐蝕後薄膜錶麵形貌的影響.結果錶明,隨著氧流量的增大腐蝕後薄膜的錶麵形貌由花瓣狀逐漸為適閤太暘電池的隕石坑狀,在氧流量為3.6 sc-cm時(氬流量為12 sccm)得到最好的絨麵ZAO薄膜,繼續增加氧流量,薄膜開始變得粗糙,說明薄膜的錶麵形貌又變差.
이용중빈맥충자공천사공예제비료저조고투과솔적ZAO박막,용습법부식적방법장제비적평면ZAO박막재0.5%적희염산중침포일정시간득도융면ZAO박막.연구료양류량대부식후박막표면형모적영향.결과표명,수착양류량적증대부식후박막적표면형모유화판상축점위괄합태양전지적운석갱상,재양류량위3.6 sc-cm시(아류량위12 sccm)득도최호적융면ZAO박막,계속증가양류량,박막개시변득조조,설명박막적표면형모우변차.
