电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2009年
4期
19-24
,共6页
李勇滔%韩立%薛虹%殷伯华%刘俊标
李勇滔%韓立%薛虹%慇伯華%劉俊標
리용도%한립%설홍%은백화%류준표
现场可编程门阵列%电子束曝光%工件台控制器
現場可編程門陣列%電子束曝光%工件檯控製器
현장가편정문진렬%전자속폭광%공건태공제기
基于激光干涉仪的精密工件台是电子束曝光机的关键设备.为了改进工件台控制器的运算速度.设计了一种基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器.本控制器由上位机接口、激光干涉仪测量系统接口、电机控制接口、手动面板接口和主处理器组成,以美国Xilinx公司Span-tan3系列的FPGA芯片XC3s400为核心,实现控制器与上位机、激光干涉仪测量系统、伺服驱动系统、手动控制面板之间的数据交换和指令传递,完成工件台的精确移动,满足电子束曝光的定位精度和拼接精度的要求.
基于激光榦涉儀的精密工件檯是電子束曝光機的關鍵設備.為瞭改進工件檯控製器的運算速度.設計瞭一種基于FPGA的電子束曝光機工件檯控製器.本控製器由上位機接口、激光榦涉儀測量繫統接口、電機控製接口、手動麵闆接口和主處理器組成,以美國Xilinx公司Span-tan3繫列的FPGA芯片XC3s400為覈心,實現控製器與上位機、激光榦涉儀測量繫統、伺服驅動繫統、手動控製麵闆之間的數據交換和指令傳遞,完成工件檯的精確移動,滿足電子束曝光的定位精度和拼接精度的要求.
기우격광간섭의적정밀공건태시전자속폭광궤적관건설비.위료개진공건태공제기적운산속도.설계료일충기우FPGA적전자속폭광궤공건태공제기.본공제기유상위궤접구、격광간섭의측량계통접구、전궤공제접구、수동면판접구화주처리기조성,이미국Xilinx공사Span-tan3계렬적FPGA심편XC3s400위핵심,실현공제기여상위궤、격광간섭의측량계통、사복구동계통、수동공제면판지간적수거교환화지령전체,완성공건태적정학이동,만족전자속폭광적정위정도화병접정도적요구.
