台州学院学报
檯州學院學報
태주학원학보
JOURNAL OF TAIZHOU UNIVERSITY
2009年
3期
29-34
,共6页
铜薄膜%液体基底%表面形貌%生长机制
銅薄膜%液體基底%錶麵形貌%生長機製
동박막%액체기저%표면형모%생장궤제
采用真空蒸发方法在硅油表面制备了一种具有自由支撑边界条件的铜薄膜系统并研究了其成膜机理和带状有序结构.实验发现:此类铜薄膜的生长机制近似服从二阶段生长模型.进一步实验发现:铜分枝状凝聚体在大气中作无规扩散和旋转,直到在某处堆积或者连接.在该连续铜薄膜系统中,我们观察到了带状有序结构.该有序结构是由一系列长度基本一致而宽度不尽相同的平行键块组成.实验结果表明:该有序结构是在样品被取出真空腔之前,由于液体基底的收缩导致薄膜压应力而形起的.理论推测铜薄膜中可能同时存在一系列不同类型的正弦型内应力分布,而这种内应力分布最终导致带状有序结构的形成.
採用真空蒸髮方法在硅油錶麵製備瞭一種具有自由支撐邊界條件的銅薄膜繫統併研究瞭其成膜機理和帶狀有序結構.實驗髮現:此類銅薄膜的生長機製近似服從二階段生長模型.進一步實驗髮現:銅分枝狀凝聚體在大氣中作無規擴散和鏇轉,直到在某處堆積或者連接.在該連續銅薄膜繫統中,我們觀察到瞭帶狀有序結構.該有序結構是由一繫列長度基本一緻而寬度不儘相同的平行鍵塊組成.實驗結果錶明:該有序結構是在樣品被取齣真空腔之前,由于液體基底的收縮導緻薄膜壓應力而形起的.理論推測銅薄膜中可能同時存在一繫列不同類型的正絃型內應力分佈,而這種內應力分佈最終導緻帶狀有序結構的形成.
채용진공증발방법재규유표면제비료일충구유자유지탱변계조건적동박막계통병연구료기성막궤리화대상유서결구.실험발현:차류동박막적생장궤제근사복종이계단생장모형.진일보실험발현:동분지상응취체재대기중작무규확산화선전,직도재모처퇴적혹자련접.재해련속동박막계통중,아문관찰도료대상유서결구.해유서결구시유일계렬장도기본일치이관도불진상동적평행건괴조성.실험결과표명:해유서결구시재양품피취출진공강지전,유우액체기저적수축도치박막압응력이형기적.이론추측동박막중가능동시존재일계렬불동류형적정현형내응력분포,이저충내응력분포최종도치대상유서결구적형성.