机电工程
機電工程
궤전공정
MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING MAGAZINE
2010年
12期
23-26,35
,共5页
微角度传感器%自准直%测量%二维
微角度傳感器%自準直%測量%二維
미각도전감기%자준직%측량%이유
为实现表面微形貌测量以及精密平台的定位测量,设计了一种结构简单的小体积二维微角度传感器.该微角度传感器基于激光自准直原理,主要由作为光源的激光二极管、自准直光路和作为位置探测器的四象限光电二极管组成.分析计算发现,角度传感器的灵敏度与光路中物镜的焦距无关,因此选用了焦距较短的物镜,以实现小体积、高灵敏度的目的.四象限光电二极管具有二维位置探测能力,利用其作为光电转换装置,微角度传感器可以同时探测两轴角度变化值.实验结果表明,微角度传感器的体积可达到25×20×13 mm3,角度测量范围±1200 arcsec,分辨率为0.1 arcsec.实验中利用激光自准直仪进行对照,有效验证了这种新型二维光学自准直微角度传感器的可行性.
為實現錶麵微形貌測量以及精密平檯的定位測量,設計瞭一種結構簡單的小體積二維微角度傳感器.該微角度傳感器基于激光自準直原理,主要由作為光源的激光二極管、自準直光路和作為位置探測器的四象限光電二極管組成.分析計算髮現,角度傳感器的靈敏度與光路中物鏡的焦距無關,因此選用瞭焦距較短的物鏡,以實現小體積、高靈敏度的目的.四象限光電二極管具有二維位置探測能力,利用其作為光電轉換裝置,微角度傳感器可以同時探測兩軸角度變化值.實驗結果錶明,微角度傳感器的體積可達到25×20×13 mm3,角度測量範圍±1200 arcsec,分辨率為0.1 arcsec.實驗中利用激光自準直儀進行對照,有效驗證瞭這種新型二維光學自準直微角度傳感器的可行性.
위실현표면미형모측량이급정밀평태적정위측량,설계료일충결구간단적소체적이유미각도전감기.해미각도전감기기우격광자준직원리,주요유작위광원적격광이겁관、자준직광로화작위위치탐측기적사상한광전이겁관조성.분석계산발현,각도전감기적령민도여광로중물경적초거무관,인차선용료초거교단적물경,이실현소체적、고령민도적목적.사상한광전이겁관구유이유위치탐측능력,이용기작위광전전환장치,미각도전감기가이동시탐측량축각도변화치.실험결과표명,미각도전감기적체적가체도25×20×13 mm3,각도측량범위±1200 arcsec,분변솔위0.1 arcsec.실험중이용격광자준직의진행대조,유효험증료저충신형이유광학자준직미각도전감기적가행성.
