人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
6期
1443-1445
,共3页
邵慧慧%李树强%曲爽%李毓锋%王成新%徐现刚
邵慧慧%李樹彊%麯爽%李毓鋒%王成新%徐現剛
소혜혜%리수강%곡상%리육봉%왕성신%서현강
湿法腐蚀%蓝宝石图形衬底%GaN%外延层
濕法腐蝕%藍寶石圖形襯底%GaN%外延層
습법부식%람보석도형츤저%GaN%외연층
利用湿法腐蚀方法,制备出图形化蓝宝石衬底(PSS).在相同的腐蚀时间下,研究腐蚀液温度对腐蚀蓝宝石表面形貌和外延后GaN材料的影响.扫描电镜(SEM)测试结果表明:随着腐蚀液温度的增加,图形的深度增加.腐蚀后图形阵列排布整齐,所有图形都方向一致,这与蓝宝石本身晶体性质有关.腐蚀液温度对外延后GaN的影响也比较大,随着腐蚀液温度的增加,(002)半峰宽逐渐增加,光致发光谱(PL)发光强度逐渐增加.管芯结果表明,LED管芯的光强也逐渐增加.
利用濕法腐蝕方法,製備齣圖形化藍寶石襯底(PSS).在相同的腐蝕時間下,研究腐蝕液溫度對腐蝕藍寶石錶麵形貌和外延後GaN材料的影響.掃描電鏡(SEM)測試結果錶明:隨著腐蝕液溫度的增加,圖形的深度增加.腐蝕後圖形陣列排佈整齊,所有圖形都方嚮一緻,這與藍寶石本身晶體性質有關.腐蝕液溫度對外延後GaN的影響也比較大,隨著腐蝕液溫度的增加,(002)半峰寬逐漸增加,光緻髮光譜(PL)髮光彊度逐漸增加.管芯結果錶明,LED管芯的光彊也逐漸增加.
이용습법부식방법,제비출도형화람보석츤저(PSS).재상동적부식시간하,연구부식액온도대부식람보석표면형모화외연후GaN재료적영향.소묘전경(SEM)측시결과표명:수착부식액온도적증가,도형적심도증가.부식후도형진렬배포정제,소유도형도방향일치,저여람보석본신정체성질유관.부식액온도대외연후GaN적영향야비교대,수착부식액온도적증가,(002)반봉관축점증가,광치발광보(PL)발광강도축점증가.관심결과표명,LED관심적광강야축점증가.
