微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2012年
2期
129-133
,共5页
UV-LIGA%氧化铟锡(ITO)%背面曝光%正面套刻%双层微齿轮%模具镶块
UV-LIGA%氧化銦錫(ITO)%揹麵曝光%正麵套刻%雙層微齒輪%模具鑲塊
UV-LIGA%양화인석(ITO)%배면폭광%정면투각%쌍층미치륜%모구양괴
以氧化铟锡(ITO)玻璃作为基底,采用UV-LIGA技术制作了双层微齿轮型腔模具的镶块.首先,采用正胶(RZJ-304)进行光刻,在ITO玻璃表面电镀镍掩模,通过镍掩模对第一层SU-8光刻胶进行背面曝光.再利用正面套刻的方法对第二层SU-8光刻胶进行曝光,显影得到双层微齿轮的胶模.最后,进行微电铸得到双层微齿轮型腔镶块.通过实验验证了双层微齿轮模具镶块制作的工艺流程,优化了其工艺参数,克服了底部曝光不足引起的问题,并对制作工艺过程中产生的涂胶不平整、前烘时胶层不稳定、热板加热不均以及接触式曝光破坏胶层表面等问题进行了研究.所制得的双层微齿轮胶模垂直度高,表面质量好,且套刻精度高.
以氧化銦錫(ITO)玻璃作為基底,採用UV-LIGA技術製作瞭雙層微齒輪型腔模具的鑲塊.首先,採用正膠(RZJ-304)進行光刻,在ITO玻璃錶麵電鍍鎳掩模,通過鎳掩模對第一層SU-8光刻膠進行揹麵曝光.再利用正麵套刻的方法對第二層SU-8光刻膠進行曝光,顯影得到雙層微齒輪的膠模.最後,進行微電鑄得到雙層微齒輪型腔鑲塊.通過實驗驗證瞭雙層微齒輪模具鑲塊製作的工藝流程,優化瞭其工藝參數,剋服瞭底部曝光不足引起的問題,併對製作工藝過程中產生的塗膠不平整、前烘時膠層不穩定、熱闆加熱不均以及接觸式曝光破壞膠層錶麵等問題進行瞭研究.所製得的雙層微齒輪膠模垂直度高,錶麵質量好,且套刻精度高.
이양화인석(ITO)파리작위기저,채용UV-LIGA기술제작료쌍층미치륜형강모구적양괴.수선,채용정효(RZJ-304)진행광각,재ITO파리표면전도얼엄모,통과얼엄모대제일층SU-8광각효진행배면폭광.재이용정면투각적방법대제이층SU-8광각효진행폭광,현영득도쌍층미치륜적효모.최후,진행미전주득도쌍층미치륜형강양괴.통과실험험증료쌍층미치륜모구양괴제작적공예류정,우화료기공예삼수,극복료저부폭광불족인기적문제,병대제작공예과정중산생적도효불평정、전홍시효층불은정、열판가열불균이급접촉식폭광파배효층표면등문제진행료연구.소제득적쌍층미치륜효모수직도고,표면질량호,차투각정도고.
