0.1μm大行程精密定位控制系统的研究
0.1μm대행정정밀정위공제계통적연구
Research on the 0.1μm Precise and Long-work Range Positioning System
  • 万方数据
    仪器仪表学报 의기의표학보
    CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
    2000年 1期 89-91,94 ,共4页

    米凤文%戴旭涵%沈亦兵%杨国光

    미봉문%대욱함%침역병%양국광

    精密工作台%精密定位控制 精密工作檯%精密定位控製
    정밀공작태%정밀정위공제
    本文介绍了一种新型的精密工作台定位控制系统.本控制系统采用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法完成对工作台的定位控制,并利用衍射干涉光栅测长技术进行实时检测.本系统工作行程50mm,定位精度±0.1μm.
    본문개소료일충신형적정밀공작태정위공제계통.본공제계통채용사복전궤조동공제여압전도자정동공제상결합적방법완성대공작태적정위공제,병이용연사간섭광책측장기술진행실시검측.본계통공작행정50mm,정위정도±0.1μm.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문