高功率底发射VCSELs的制作与特性研究
고공솔저발사VCSELs적제작여특성연구
Fabrication and experimental characterization of high power bottom-emitting VCSELs
  • 万方数据
    光学精密工程 광학정밀공정
    OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
    2004年 5期 449-453 ,共5页

    孙艳芳%金珍花%宁永强%秦莉%晏长岭%路国光%套格套%刘云%王立军%崔大复%李惠青%许祖彦

    손염방%금진화%저영강%진리%안장령%로국광%투격투%류운%왕립군%최대복%리혜청%허조언

    VCSELs%底发射%980 nm%输出功率%近场和远场 VCSELs%底髮射%980 nm%輸齣功率%近場和遠場
    VCSELs%저발사%980 nm%수출공솔%근장화원장
    研究制作了大面积底发射氧化限制面发射激光器, 并分析了器件特性.通过增加有源区面积, 改进制作工艺,采用Al2O3作钝化膜和多层复合HfO 2作增透膜等方法,提高了激光器输出功率.分析了最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系.结果表明:有源区直径分别为500μm和600μm的单管, 室温下均达到连续输出功率 1.95 W ,这也是目前国际上所实现的单管室温连续输出最高功率; 实验所得最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系与理论计算所得结果一致.并特别讨论了直径200 μm的器件的近场和远场光强分布,获得单横模工作.
    연구제작료대면적저발사양화한제면발사격광기, 병분석료기건특성.통과증가유원구면적, 개진제작공예,채용Al2O3작둔화막화다층복합HfO 2작증투막등방법,제고료격광기수출공솔.분석료최대수출공솔여유원구직경화주입전류지간적의뢰관계.결과표명:유원구직경분별위500μm화600μm적단관, 실온하균체도련속수출공솔 1.95 W ,저야시목전국제상소실현적단관실온련속수출최고공솔; 실험소득최대수출공솔여유원구직경화주입전류지간적의뢰관계여이론계산소득결과일치.병특별토론료직경200 μm적기건적근장화원장광강분포,획득단횡모공작.
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