传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2006年
7期
50-51,54
,共3页
杨全玖%张大伟%吕宗芳%赵书俊%吕运朋
楊全玖%張大偉%呂宗芳%趙書俊%呂運朋
양전구%장대위%려종방%조서준%려운붕
SF6气体%电晕放电%分辨力%灵敏度
SF6氣體%電暈放電%分辨力%靈敏度
SF6기체%전훈방전%분변력%령민도
在负极性电场电晕放电过程中,当SF6气体进入到传感器内,捕获电场中的慢速电子生成负离子.SF6气体负离子与载气正离子复合成中性化合物,被载气带出传感器外,而使原有的基流减少.该基流的减少量与被测气体的体积分数成一定的比例关系.将变化的基流转为体积分数指示信号输出,从而达到检测SF6气体体积分数的要求.在待测气体中SF6含量不大于1200×10-6范围内,传感器分辨力以体积分数计不大于0.1×10-6,灵敏度不低于1.0μA/10-6.
在負極性電場電暈放電過程中,噹SF6氣體進入到傳感器內,捕穫電場中的慢速電子生成負離子.SF6氣體負離子與載氣正離子複閤成中性化閤物,被載氣帶齣傳感器外,而使原有的基流減少.該基流的減少量與被測氣體的體積分數成一定的比例關繫.將變化的基流轉為體積分數指示信號輸齣,從而達到檢測SF6氣體體積分數的要求.在待測氣體中SF6含量不大于1200×10-6範圍內,傳感器分辨力以體積分數計不大于0.1×10-6,靈敏度不低于1.0μA/10-6.
재부겁성전장전훈방전과정중,당SF6기체진입도전감기내,포획전장중적만속전자생성부리자.SF6기체부리자여재기정리자복합성중성화합물,피재기대출전감기외,이사원유적기류감소.해기류적감소량여피측기체적체적분수성일정적비례관계.장변화적기류전위체적분수지시신호수출,종이체도검측SF6기체체적분수적요구.재대측기체중SF6함량불대우1200×10-6범위내,전감기분변력이체적분수계불대우0.1×10-6,령민도불저우1.0μA/10-6.
