光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2006年
12期
1888-1891
,共4页
邵国成%戴旭涵%杨昊宇%赵小林%丁桂甫
邵國成%戴旭涵%楊昊宇%趙小林%丁桂甫
소국성%대욱함%양호우%조소림%정계보
微机电系统(MEMS)%可调光衰减器%闭环%线性度
微機電繫統(MEMS)%可調光衰減器%閉環%線性度
미궤전계통(MEMS)%가조광쇠감기%폐배%선성도
针对一种错位型MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)可调光衰减器,基于输入输出光纤间模场的交叠积分,数值分析了径向偏差和轴向间隙同时存在的情况下,光功率衰减量与错位量和波长的关系.演示了利用闭环反馈控制系统提高器件响应线性度的显著效果.研制出样机并测量得到器件的响应时间(约1.5 ms),动态范围(约35 dB),波长相关损耗(＜0.4 dB),偏振相关损耗(＜0.1 dB)等关键性能参量.
針對一種錯位型MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)可調光衰減器,基于輸入輸齣光纖間模場的交疊積分,數值分析瞭徑嚮偏差和軸嚮間隙同時存在的情況下,光功率衰減量與錯位量和波長的關繫.縯示瞭利用閉環反饋控製繫統提高器件響應線性度的顯著效果.研製齣樣機併測量得到器件的響應時間(約1.5 ms),動態範圍(約35 dB),波長相關損耗(＜0.4 dB),偏振相關損耗(＜0.1 dB)等關鍵性能參量.
침대일충착위형MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)가조광쇠감기,기우수입수출광섬간모장적교첩적분,수치분석료경향편차화축향간극동시존재적정황하,광공솔쇠감량여착위량화파장적관계.연시료이용폐배반궤공제계통제고기건향응선성도적현저효과.연제출양궤병측량득도기건적향응시간(약1.5 ms),동태범위(약35 dB),파장상관손모(＜0.4 dB),편진상관손모(＜0.1 dB)등관건성능삼량.
