CAJ | 학술논문

针对高速旋涂造成标记区阻蚀胶薄膜覆盖不对称和压印曝光造成标记区薄膜聚合的问题,利用压印光刻压印曝光固化脱模的工艺原理,提出了用压印预处理标记表面薄膜来优化阻蚀胶层厚度和形貌的工艺方法.该方法采用下压力约束薄膜,使阻蚀胶在标记区的栅格间重新分布,从而削弱了覆盖膜的不对称性,获得了相应的薄膜厚度.采用旋涂厚度为1.1 μm的覆盖膜对压印预处理工艺方法进行了试验,发现下压力大于 0.48 MPa时,薄膜结构具有较好的对称性,下压力为1.12 MPa时,对准信号的对比度达到最大.试验结果表明,压印预处理对于压印光刻系统具有较好的工艺适应性,利用该方法优化标记区的阻蚀胶层不仅能够有效削弱覆盖膜不对称和压印曝光的影响,而且对准精度可满足100 nm压印光刻的要求.
침대고속선도조성표기구조식효박막복개불대칭화압인폭광조성표기구박막취합적문제,이용압인광각압인폭광고화탈모적공예원리,제출료용압인예처리표기표면박막래우화조식효층후도화형모적공예방법.해방법채용하압력약속박막,사조식효재표기구적책격간중신분포,종이삭약료복개막적불대칭성,획득료상응적박막후도.채용선도후도위1.1 μm적복개막대압인예처리공예방법진행료시험,발현하압력대우 0.48 MPa시,박막결구구유교호적대칭성,하압력위1.12 MPa시,대준신호적대비도체도최대.시험결과표명,압인예처리대우압인광각계통구유교호적공예괄응성,이용해방법우화표기구적조식효층불부능구유효삭약복개막불대칭화압인폭광적영향,이차대준정도가만족100 nm압인광각적요구.