微/纳米复合多层金刚石自支撑膜的制备及应力研究
미/납미복합다층금강석자지탱막적제비급응력연구
Preparation of micro/nano composite multi-layered free-standing diamond film and evaluation of its stress
  • 万方数据
    金刚石与磨料磨具工程 금강석여마료마구공정
    DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
    2007年 3期 29-31,35 ,共4页

    兰昊%陈广超%戴风伟%李彬%唐伟忠%李成明%宋建华%Askari J.%黑立富%佟玉梅%吕反修

    란호%진엄초%대풍위%리빈%당위충%리성명%송건화%Askari J.%흑립부%동옥매%려반수

    直流电弧等离子喷射化学气相沉积%自支撑金刚石膜%多层结构%内应力 直流電弧等離子噴射化學氣相沉積%自支撐金剛石膜%多層結構%內應力
    직류전호등리자분사화학기상침적%자지탱금강석막%다층결구%내응력
    利用大功率DC Arc Plasma Jet CVD装置,采用Ar-H2-CH4混合气体为气源,通过优化工艺参数,在多晶钼衬底上制备出了多层复合金刚石自支撑膜.利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、激光拉曼谱(Raman)对膜体进行表征,结果显示,多层膜体的组织结构体现了微米金刚石与纳米金刚石的典型特征;复合金刚石自支撑膜具有光滑的表面,微米层与纳米层间呈相互嵌套式的界面;此外,利用激光拉曼谱分析了多层膜中的内应力状态,研究发现,多层膜中各层膜体具有不同的内应力状态,内应力沿膜体生长方向有明显变化,呈现出从压应力到拉应力的变化过程.
    이용대공솔DC Arc Plasma Jet CVD장치,채용Ar-H2-CH4혼합기체위기원,통과우화공예삼수,재다정목츤저상제비출료다층복합금강석자지탱막.이용소묘전경(SEM)、X사선연사(XRD)、격광랍만보(Raman)대막체진행표정,결과현시,다층막체적조직결구체현료미미금강석여납미금강석적전형특정;복합금강석자지탱막구유광활적표면,미미층여납미층간정상호감투식적계면;차외,이용격광랍만보분석료다층막중적내응력상태,연구발현,다층막중각층막체구유불동적내응력상태,내응력연막체생장방향유명현변화,정현출종압응력도랍응력적변화과정.
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