电子器件
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전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2008年
2期
428-431
,共4页
黄钦文%吴军%陈大鹏%陈永胜%叶甜春
黃欽文%吳軍%陳大鵬%陳永勝%葉甜春
황흠문%오군%진대붕%진영성%협첨춘
碳纳米管%吸附%气体传感器%CVD
碳納米管%吸附%氣體傳感器%CVD
탄납미관%흡부%기체전감기%CVD
以Al/Fe为催化剂,使用热CVD法在硅片表面垂直生长碳纳米管.研究了不同温度下,未经高温真空退火的碳纳米管吸附和解吸乙醇蒸汽时,碳纳米管电学特性的变化规律.把碳纳米管在真空下(＜1 Pa)进行高温(150℃)退火,对经过退火的碳纳米管在不同温度下,吸附和解吸乙醇蒸汽后电学特性的变化规律进行研究.实验结果表明,未经高温真空退火的碳纳米管电学特性表现出p型半导体特性,经过高温真空退火后,碳纳米管的电学特性变为n型半导体特性.
以Al/Fe為催化劑,使用熱CVD法在硅片錶麵垂直生長碳納米管.研究瞭不同溫度下,未經高溫真空退火的碳納米管吸附和解吸乙醇蒸汽時,碳納米管電學特性的變化規律.把碳納米管在真空下(＜1 Pa)進行高溫(150℃)退火,對經過退火的碳納米管在不同溫度下,吸附和解吸乙醇蒸汽後電學特性的變化規律進行研究.實驗結果錶明,未經高溫真空退火的碳納米管電學特性錶現齣p型半導體特性,經過高溫真空退火後,碳納米管的電學特性變為n型半導體特性.
이Al/Fe위최화제,사용열CVD법재규편표면수직생장탄납미관.연구료불동온도하,미경고온진공퇴화적탄납미관흡부화해흡을순증기시,탄납미관전학특성적변화규률.파탄납미관재진공하(＜1 Pa)진행고온(150℃)퇴화,대경과퇴화적탄납미관재불동온도하,흡부화해흡을순증기후전학특성적변화규률진행연구.실험결과표명,미경고온진공퇴화적탄납미관전학특성표현출p형반도체특성,경과고온진공퇴화후,탄납미관적전학특성변위n형반도체특성.
