光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
3期
85-88
,共4页
刘黎明%杨培志%杨瑞宇%莫镜辉
劉黎明%楊培誌%楊瑞宇%莫鏡輝
류려명%양배지%양서우%막경휘
红外探测器%热释电%非制冷焦平面探测器%混成式技术%单片式技术
紅外探測器%熱釋電%非製冷焦平麵探測器%混成式技術%單片式技術
홍외탐측기%열석전%비제랭초평면탐측기%혼성식기술%단편식기술
介绍了混成式热释电焦平面探测器的基本结构和主要制备工艺流程以及国内外研究现状.混成式热释电焦平面探测器的关键制备技术主要包括热释电材料的优选与减薄技术,铟柱倒装焊混成技术、热隔离技术和读出集成电路技术等.指出了混成式热释电焦平面探测器的发展趋势.
介紹瞭混成式熱釋電焦平麵探測器的基本結構和主要製備工藝流程以及國內外研究現狀.混成式熱釋電焦平麵探測器的關鍵製備技術主要包括熱釋電材料的優選與減薄技術,銦柱倒裝銲混成技術、熱隔離技術和讀齣集成電路技術等.指齣瞭混成式熱釋電焦平麵探測器的髮展趨勢.
개소료혼성식열석전초평면탐측기적기본결구화주요제비공예류정이급국내외연구현상.혼성식열석전초평면탐측기적관건제비기술주요포괄열석전재료적우선여감박기술,인주도장한혼성기술、열격리기술화독출집성전로기술등.지출료혼성식열석전초평면탐측기적발전추세.
