太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2009年
5期
607-610
,共4页
韩东麟%张弓%庄大明%元金石%李春雷
韓東麟%張弓%莊大明%元金石%李春雷
한동린%장궁%장대명%원금석%리춘뢰
太阳电池%CIGS%磁控溅射%硒化%预制膜
太暘電池%CIGS%磁控濺射%硒化%預製膜
태양전지%CIGS%자공천사%서화%예제막
采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了多层和双层CuInGa(CIG)预制膜,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了预制膜对CIGS薄膜结构和形貌的影响.采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的组织结构.结果表明,CIG多层预制膜由Cu11 In9、CuIn和In相组成,CIG双层预制膜由Cu11 In9、CuIn、In和CuGa相组成.通过硒化CIG双层和多层预制膜,所获得的CIGS薄膜均为黄铜矿相结构,薄膜具有(112)面的择优取向.当硒化时间为17min时,通过硒化CIG双层预制膜所获得的CIGS薄膜出现了上层致密,下层疏松的结构,延长硒化时间为25min,CIGS薄膜变得致密.
採用中頻交流磁控濺射方法,在Mo層上沉積瞭多層和雙層CuInGa(CIG)預製膜,採用固態硒化法製備穫得瞭Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收層薄膜,攷察瞭預製膜對CIGS薄膜結構和形貌的影響.採用SEM和EDS觀察和分析瞭薄膜的錶麵形貌和成分,採用XRD錶徵瞭薄膜的組織結構.結果錶明,CIG多層預製膜由Cu11 In9、CuIn和In相組成,CIG雙層預製膜由Cu11 In9、CuIn、In和CuGa相組成.通過硒化CIG雙層和多層預製膜,所穫得的CIGS薄膜均為黃銅礦相結構,薄膜具有(112)麵的擇優取嚮.噹硒化時間為17min時,通過硒化CIG雙層預製膜所穫得的CIGS薄膜齣現瞭上層緻密,下層疏鬆的結構,延長硒化時間為25min,CIGS薄膜變得緻密.
채용중빈교류자공천사방법,재Mo층상침적료다층화쌍층CuInGa(CIG)예제막,채용고태서화법제비획득료Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)흡수층박막,고찰료예제막대CIGS박막결구화형모적영향.채용SEM화EDS관찰화분석료박막적표면형모화성분,채용XRD표정료박막적조직결구.결과표명,CIG다층예제막유Cu11 In9、CuIn화In상조성,CIG쌍층예제막유Cu11 In9、CuIn、In화CuGa상조성.통과서화CIG쌍층화다층예제막,소획득적CIGS박막균위황동광상결구,박막구유(112)면적택우취향.당서화시간위17min시,통과서화CIG쌍층예제막소획득적CIGS박막출현료상층치밀,하층소송적결구,연장서화시간위25min,CIGS박막변득치밀.
